2019年10月15日。等離子體輔助化學氣相沉積( PCVD)工藝特點

PCVD 技術利用了低溫等離子體使物質在低溫時具有高的化學活性的特點，取代了傳統CVD 的外加熱源，在450 ～600 ℃ 的溫度下便能實現涂覆，而傳統的CVD 要在1000 ℃ 左右才能進行。在一定

的激發電壓下，氣體中的電離成分只要超過千分之一，其行為就主要由離子與電子間的庫侖力所支配，這就建立了一個全新的物質聚積態-等離子體。假如此時的帶電粒子密度達到1010cm－3，則電子溫度將達到10000 K 以上。如此高的電子能量將有力地激發電離沉積物質粒子，由此成功地取代了傳統CVD 外加熱源之能量，這就是等離子體增強的簡單機制。

 PCVD 的工藝特點:

( 1) 沉積溫度低。原在450 ～6O0 ℃ 范圍內作至后一道回火的鋼材，汽車三腳架銅合金模具材料均可進行PCVD 超硬涂復而不損傷基體組織。

( 2) 變形甚微。因沉積溫度低，且超硬涂層極薄，僅 2 ～ 10 μm，沉積后工件的變形小。TiN 沉積層的厚度變化遵循Arrhenius 關系式，沉積的速度約1μm / h。

( 3) 繞鍍性好。由于PCVD 過程有著高度的散射性，對模具的不等位表面，如帶有內孔、溝槽的復雜型腔的成形模，能實現均勻沉積，可以對復雜的模具表面進行沉積。

( 4) 光潔度不損傷。

在熱應力的交替作用下，模具材料尤其是表面的組織性能逐步發生轉變，導致失效。限制銅合金熱鍛模具壽命的因素有: 熱疲勞、整體開裂、侵蝕和腐蝕、塑性變形等。模具在長時間的高溫、高壓、熱應力、循環應力、摩擦 應力及局部應力集中作用下，極易因磨損、疲勞裂紋及塑性變形而失效。